Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Эпитаксиальные пленки
Марр и Инмен [100, 101] также сообщили о существенном улучшении степени ориентации и укрупнении кристаллов в пленках золота, серебра, никеля и алюминия при росте в сверхвысоком, вакууме по сравнению с конденсацией в обычных условиях, но во всех этих работах подложки скалывали на воздухе. Хонма и Уэйман [102] обнаружили, что эпитаксиальные пленки с хорошей структурой образуются лишь при давлении остаточных газов менее 10 - 6 мм рт. ст. независимо от того, производили ли скол кристаллов NaCl и KG1 на воздухе или в вакууме.