Использование несамостоятельного газового разряда позволяет осуществлять нанесение покрытий при низком рабочем давлении в камере установки ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Белый А.В. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев


Использование несамостоятельного газового разряда позволяет осуществлять нанесение покрытий при низком рабочем давлении в камере установки ( 5 - 10 - 2Па), что обеспечивает снижение концентрации газов, захваченных пленкой, а также увеличение средней энергии осаждаемых частиц вследствие уменьшения числа столкновений распыленных частиц с молекулами газа на пути к подложке.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Использование несамостоятельного газового разряда позволяет осуществлять нанесение покрытий при низком рабочем давлении в камере установки ( 5 - 10 - 2Па),  что обеспечивает снижение концентрации газов,  захваченных пленкой,  а также увеличение средней энергии осаждаемых частиц вследствие уменьшения числа столкновений распыленных частиц с молекулами газа на пути к подложке.