Распыление атомов возможно только тогда, когда энергия иона превышает энергию междуатомного взаимодействия в материале мишени. ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Пичугин И.Г.
Технология полупроводниковых приборов
Распыление атомов возможно только тогда, когда энергия иона превышает энергию междуатомного взаимодействия в материале мишени. Эта энергия распыления носит название пороговой ЕП.
