Для количественной характеристики ионного травления вводят понятие коэффициента распыления s, определяемого отношением числа распыленных атомов ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Пичугин И.Г. Технология полупроводниковых приборов


Для количественной характеристики ионного травления вводят понятие коэффициента распыления s, определяемого отношением числа распыленных атомов мишени к числу падающих ионов.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Для количественной характеристики ионного травления вводят понятие коэффициента распыления s,  определяемого отношением числа распыленных атомов мишени к числу падающих ионов.