Для количественной характеристики ионного травления вводят понятие коэффициента распыления s, определяемого отношением числа распыленных атомов ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Пичугин И.Г.
Технология полупроводниковых приборов
Для количественной характеристики ионного травления вводят понятие коэффициента распыления s, определяемого отношением числа распыленных атомов мишени к числу падающих ионов.