Фирма Macrodate Corparate предлагает комплекс Midas MD-180. В данной системе на светочувствительную пластинку экспонируются линии ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Боков Ю.С.
Введение в фотолитографию
Фирма Macrodate Corparate предлагает комплекс Midas MD-180. В данной системе на светочувствительную пластинку экспонируются линии или отверстия либо унифицированные части рисунка микросхемы.