Электроны высокой энергии теряют ее в результате неупругого рассеяния на электронах и ядрах атомов среды, приводящего к ионизации атомов и молекул и появлению тормозного рентгеновского излучения. Упругое рассеяние электронов на электронах среды происходит без потери энергии.