Верхний проводник или сетка имеет круглое отверстие от 1 до 3 мкм в диаметре, сквозь ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Трубецков Д.И. Лекции по сверхвысокочастотной электронике для физиков Том2


Верхний проводник или сетка имеет круглое отверстие от 1 до 3 мкм в диаметре, сквозь которое протравлено отверстие до нижнего проводника. На подложке находится конусообразный эмиттер, его вершина располагается в отверстии сеточной пленки. Размеры для одного из изготовленных катодов приведены на рисунке. Высота конуса, радиусы острия и отверстия в сетке могут меняться при изменении параметров технологического процесса.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

 Верхний проводник или сетка имеет круглое отверстие от 1 до 3 мкм в диаметре,  сквозь которое протравлено отверстие до нижнего проводника.  На подложке находится конусообразный эмиттер,  его вершина располагается в отверстии сеточной пленки.  Размеры для одного из изготовленных катодов приведены на рисунке.  Высота конуса,  радиусы острия и отверстия в сетке могут меняться при изменении параметров технологического процесса.