В настоящем параграфе рассматриваются методы контроля остаточных напряжений в покрытиях, нанесенных на подложку из различных ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Морозов А.М.
Оптические голографические приборы
В настоящем параграфе рассматриваются методы контроля остаточных напряжений в покрытиях, нанесенных на подложку из различных материалов. Особенностью таких соединений является то, что при любом способе нанесения покрытия система пленка-подложка находится в механически напряженном состоянии, поскольку основными компонентами остаточных напряжений при нанесении пленок являются температурные напряжения, обусловленные отличием коэффициентов температурного расширения материалов пленки и подложки, а также структурные напряжения, вызванные различного рода дефектами. Даже в достаточно тонких пленках, толщиной 0 1 - 1 мкм, остаточные напряжения могут достигать предела прочности материалов, составляющих систему, превышение которого приводит к ее разрушению.