Нанничи [226] удалось путем дальнейшего повышения степени разрежения до 10 - 8 - 10 - ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Палатник Л.С. Эпитаксиальные пленки


Нанничи [226] удалось путем дальнейшего повышения степени разрежения до 10 - 8 - 10 - 9 мм рт. ст. получить эпитаксиальные пленки кремния при температуре 830 С.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Нанничи [226] удалось путем дальнейшего повышения степени разрежения до 10 - 8 - 10 - 9 мм рт. ст. получить эпитаксиальные пленки кремния при температуре 830 С.