Данное выражение описывает истинное распределение тем точнее, чем тоньше слой, из которого происходит диффузия. Оно ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Парфенов О.Д.
Технология микросхем
Данное выражение описывает истинное распределение тем точнее, чем тоньше слой, из которого происходит диффузия. Оно получено также в предположении, что поступление примеси в кристалл извне и испарение примеси из кристалла отсутствуют. Практически этап разгонки заключается в нагреве пластин в окислительной среде. Образующаяся оишсная плешка предохраняет введенную примесь от испарения.
