Для получения слоев А1203 используется пиролиз алюмоорганических соединений, а также окисление алюминия в кислородной плазме. - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Анисимов И.Д. Полупроводниковые фотоприемники ультрафиолетовые и ближний инфракрасный диапазоны спектра


Для получения слоев А1203 используется пиролиз алюмоорганических соединений, а также окисление алюминия в кислородной плазме.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Для получения слоев А1203 используется пиролиз алюмоорганических соединений,  а также окисление алюминия в кислородной плазме.