Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Эпитаксиальные пленки
Авторы осаждали пленки по методу восстановления три-хлорсилана ( ta 1150 - 1250 С, vn 4 л / мин, рзшс. Пленки дополнительно легировали фосфором. Оказалось, что перенос примесей через газовую фазу от наружной поверхности подложки ( третий механизм) не играет существенной роли в автолегировании. Это вытекает из следующего эксперимента.