Авторы осаждали пленки по методу восстановления три-хлорсилана ( ta 1150 - 1250 С, vn 4 ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Палатник Л.С. Эпитаксиальные пленки


Авторы осаждали пленки по методу восстановления три-хлорсилана ( ta 1150 - 1250 С, vn 4 л / мин, рзшс. Пленки дополнительно легировали фосфором. Оказалось, что перенос примесей через газовую фазу от наружной поверхности подложки ( третий механизм) не играет существенной роли в автолегировании. Это вытекает из следующего эксперимента.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Авторы осаждали пленки по методу восстановления три-хлорсилана ( ta 1150  -  1250 С,  vn 4 л / мин,  рзшс.  Пленки дополнительно легировали фосфором.  Оказалось,  что перенос примесей через газовую фазу от наружной поверхности подложки ( третий механизм) не играет существенной роли в автолегировании.  Это вытекает из следующего эксперимента.