К такому же эффекту приводит скопление дислокаций на отдельных участках поверхности. При внедрении примесных атомов ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Пичугин И.Г. Технология полупроводниковых приборов


К такому же эффекту приводит скопление дислокаций на отдельных участках поверхности. При внедрении примесных атомов в кристаллическую решетку в ней возникают механические напряжения, вызванные различием атомных радиусов примесного элемента и полупроводника. Напряжения, обусловленные сжатием или растяжением решетки, могут оказаться достаточными для ее пластической деформации и генерации дислокаций.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

К такому же эффекту приводит скопление дислокаций на отдельных участках поверхности.  При внедрении примесных атомов в кристаллическую решетку в ней возникают механические напряжения,  вызванные различием атомных радиусов примесного элемента и полупроводника.  Напряжения,  обусловленные сжатием или растяжением решетки,  могут оказаться достаточными для ее пластической деформации и генерации дислокаций.