В [155] высокочастотному распылению подвергались три катода - мишени из ( Pb, Sn) Te в ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Гольцман Б.М. Пленочные термоэлементы - физика и применение


В [155] высокочастотному распылению подвергались три катода - мишени из ( Pb, Sn) Te в виде симметрично расположенных водоохлаждаемых дисков диаметром от 5 до-12 5 см. Кроме того, для компенсации улетучивания теллура из нагретой подложки использовался дополнительный катод из теллура. Система откачивалась высоковакуум-лым турбомолекулярным насосом, аргон подвергали очистке титановым геттером, подложки предварительно прогревали до 400 С в течение 30 мин сначала в вакууме, а затем в атмосфере аргона.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

В [155] высокочастотному распылению подвергались три катода - мишени из ( Pb, Sn) Te в виде симметрично расположенных водоохлаждаемых дисков диаметром от 5 до-12 5 см. Кроме того, для компенсации улетучивания теллура из нагретой подложки использовался дополнительный катод из теллура. Система откачивалась высоковакуум-лым турбомолекулярным насосом, аргон подвергали очистке титановым геттером, подложки предварительно прогревали до 400 С в течение 30 мин сначала в вакууме, а затем в атмосфере аргона.