Анализ уравнения (6.16) и входящих в него членов показывает, что автолегирование существенно зависит от коэффициента ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов


Анализ уравнения (6.16) и входящих в него членов показывает, что автолегирование существенно зависит от коэффициента диффузии легирующей примеси: чем он меньше, тем меньше уровень автолегирования, возрастающий для элементарных полупроводников в ряду сурьма - мышьяк - фосфор.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Анализ уравнения (6.16) и входящих в него членов показывает,  что автолегирование существенно зависит от коэффициента диффузии легирующей примеси:  чем он меньше,  тем меньше уровень автолегирования,  возрастающий для элементарных полупроводников в ряду сурьма  -  мышьяк  -  фосфор.