Выдержка из книги
Курносов А.И.
Полупроводниковая микроэлектроника
Свойства этих металлов имеют значение в случае травления SiOj, при котором изолирующий слой окиси может быть очень тонким. При соприкосновении алюминия с этим слоем SiOz восстанавливается, высвобождая кремний, что способствует образованию хорошего омического контакта. Что же касается золота, то оно, как было указано выше, не восстанавливает SiO. При этом не удается достигнуть хорошего сцепления поверхности со слоем золота.
