Кроме эпитаксиальных пленок кремния, получаемых на монокристальных подложках, для изготовления тонкопленочных устройств иногда используют различные ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Палатник Л.С. Эпитаксиальные пленки


Кроме эпитаксиальных пленок кремния, получаемых на монокристальных подложках, для изготовления тонкопленочных устройств иногда используют различные методы наращивания слоев на поликристаллических или аморфных подложках с последующей их кристаллизацией или перекристаллизацией, позволяющей получить крупнокристаллические или даже монокристальные пленки.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Кроме эпитаксиальных пленок кремния, получаемых на монокристальных подложках, для изготовления тонкопленочных устройств иногда используют различные методы наращивания слоев на поликристаллических или аморфных подложках с последующей их кристаллизацией или перекристаллизацией, позволяющей получить крупнокристаллические или даже монокристальные пленки.