Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Материаловедение в микроэлектронике
Пленки имеют столбчатую структуру, так как размер блоков-кристаллитов по толщине достигает 8 - 9 нм. Высокая дисперсность блоков-кристаллитов соответствует большой плотности дислокаций. При L 5 нм и е 0 5 % это соответствует плотности дислокаций примерно 1013 см-2. При столь высокой плотности дислокаций и малых размерах блоков-кристаллитов решетка в них испытывает заметную деформацию под влиянием полей напряжений, расположенных вокруг дислокаций. Следовательно, ОКР уже не является областью идеальной решетки, отделенной от других ОКР стенками дислокаций, а представляет деформированную решетку с полем деформаций вокруг дислокаций ( см. гл.
