Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Материаловедение в микроэлектронике
На рис. 6 - 12 показана связь между размером блоков-кристаллитов в пленках и отношением Ta / Ts для рассмотренных металлов. Видно, что переход от легкоплавких ( А1, Аи, Ag) к тугоплавким ( Fe, Ni) металлам сопровождается существенным повышением дисперности структуры.
