Из таблицы видна характерная особенность пленок тугоплавких металлов: макронапряжения значительно превышают предел текучести массивного недеформированного ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Палатник Л.С. Материаловедение в микроэлектронике


Из таблицы видна характерная особенность пленок тугоплавких металлов: макронапряжения значительно превышают предел текучести массивного недеформированного материала. Последнее указывает на высокий ресурс упругой деформации кристаллической решетки блоков-кристаллитов в этих пленках.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Из таблицы видна характерная особенность пленок тугоплавких металлов:  макронапряжения значительно превышают предел текучести массивного недеформированного материала.  Последнее указывает на высокий ресурс упругой деформации кристаллической решетки блоков-кристаллитов в этих пленках.