Растворение германия и кремния в СР-4, СР-8 ( смесь HN03 с HF при отношении 2: ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Берг А.И. Автоматизация производства и промышленная электроника Том 4


Растворение германия и кремния в СР-4, СР-8 ( смесь HN03 с HF при отношении 2: 1), СР-6 ( содержание плавиковой к-ты на 33 % выше, чем у СР-4), СР-4А ( то же, что СР-4, по без Вг2) является электрохим. На катодных микроучастках происходит восстановление окислителя ( HNO3), а на анодных растворяемый материал переходит в раствор. Окислитель, восстанавливаясь па ПП, захватывает электроны. Образующиеся дырки расходуются на растворение ПП.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

 Растворение германия и кремния в СР-4,  СР-8 ( смесь HN03 с HF при отношении 2: 1),  СР-6 ( содержание плавиковой к-ты на 33 % выше,  чем у СР-4),  СР-4А ( то же,  что СР-4,  по без Вг2) является электрохим.  На катодных микроучастках происходит восстановление окислителя ( HNO3),  а на анодных растворяемый материал переходит в раствор.  Окислитель,  восстанавливаясь па ПП,  захватывает электроны.  Образующиеся дырки расходуются на растворение ПП.