Использовался сканирующий электронный микроскоп, который может создавать тонкий электронный луч диаметром менее 0 1 мкм. ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Разуваев Г.А. Металлоорганические соединения в электронике


Использовался сканирующий электронный микроскоп, который может создавать тонкий электронный луч диаметром менее 0 1 мкм. Силоксаны растворяли в изоамилацетате и растворы наносили на кремниевые пластины, а затем растворитель испаряли при комнатной температуре. Экспонированные пленки обладают высокой адгезией к кремниевой подложке, вероятно, за счет образования кислородными атомами силоксанов прочных связей на границе раздела пленка-подложка.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Использовался сканирующий электронный микроскоп, который может создавать тонкий электронный луч диаметром менее 0 1 мкм. Силоксаны растворяли в изоамилацетате и растворы наносили на кремниевые пластины, а затем растворитель испаряли при комнатной температуре. Экспонированные пленки обладают высокой адгезией к кремниевой подложке, вероятно, за счет образования кислородными атомами силоксанов прочных связей на границе раздела пленка-подложка.