Общее число контрольных операций в процессе изготовления изделий микроэлектроника чрезвычайно велико: входной контроль материалов, заготовок, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Ефимов И.Е.
Основы микроэлектроники
Общее число контрольных операций в процессе изготовления изделий микроэлектроника чрезвычайно велико: входной контроль материалов, заготовок, входящих изделий, контроль в процессе изготовления и окончательный контроль и испытание изделий. Стремление уменьшить трудоемкость контрольных операций заставляет разработчиков оборудования изыскивать более эффективные методы контроля и создавать специальную аппаратуру. Так, в последнее время усиленно ведутся работы по применению инфракрасной тех-ники для контроля толщины слоев, концентрации носителей, а-также для исследования изделий с целью определения их надежности.