Полупроводниковые ИС имеют активную подложку ( кристалл кремния), в которой с помощью единых технологических процессов ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Угрюмов Е.П.
Элементы и узлы ЭЦВМ
Полупроводниковые ИС имеют активную подложку ( кристалл кремния), в которой с помощью единых технологических процессов создаются и активные и пассивные элементы схемы. Пассивные элементы этих ИС уступают по качеству ( разбросу сопротивлений, стабильности) пленочным пассивным элементам. Однако полупроводниковые ИС позволяют в полном объеме использовать преимущества ИС и групповые методы их производства. Полупроводниковые ИС делятся на: монолитные; многокристальные; на подложке, имеющей кристаллографическое сходство с кремнием; балочные.