Раскачка колебаний вторичным пучком должна быть наиболее эффективна на границе второго и третьего этапов, где ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Углов А.А. Автоколебательные процессы при воздействии концентрированных потоков энергии


Раскачка колебаний вторичным пучком должна быть наиболее эффективна на границе второго и третьего этапов, где ток вторичных электронов максимален. Из расчетов, аналогичных тем, которые были сделаны при обсуждении результатов ( 37 ], следует, что на границе второго и третьего этапов горит разряд, инициируемый вторичным электронным пучком. Существование данной неустойчивости в [23] объяснили тем, что плотность плазмообразующего газа вблизи поверхности металла определяется конкуренцией между подачей и расходом газа, а зажигание разряда увеличивает отток газа, поскольку ионы, движущиеся из разрядной области, имеют большую скорость по сравнению с нейтральными атомами. В [37] в условиях, близких к условиям [27], при использовании методов скоростной фоторегистрации наблюдали пульсации плазменного факела, поэтому можно сделать предположение, что в [27] пульсации тока мишени и давления газа обусловлены пульсациями плотности приповерхностной плазмы. Более того, можно предположить, что механизм этих пульсаций обусловлен неустойчивостью горения разряда за счет упоминавшегося выше эффекта ионной откачки. Однако непосредственное использование механизма ионной откачки для объяснения колебательной неустойчивости в [27] наталкивается на ряд трудностей. Поэтому скорость иоиов больше скорости нейтралов, причем в режиме ионной откачки поток ионов может на порядок превосходить поток подводимого в камеру плазмообразующего газа. Колебательная же неустойчивость в [27] развивается несколько в других условиях. Во-первых, в [27] отсутствует вблизи поверхности металла сильное продольное магнитное поле, поэтому ионы, как и нейтральные частицы, могут совершенно беспрепятственно уходить на стенки вакуумной камеры.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Раскачка колебаний вторичным пучком должна быть наиболее эффективна на границе второго и третьего этапов,  где ток вторичных электронов максимален.  Из расчетов,  аналогичных тем,  которые были сделаны при обсуждении результатов ( 37 ],  следует,  что на границе второго и третьего этапов горит разряд,  инициируемый вторичным электронным пучком.  Существование данной неустойчивости в [23] объяснили тем,  что плотность плазмообразующего газа вблизи поверхности металла определяется конкуренцией между подачей и расходом газа,  а зажигание разряда увеличивает отток газа,  поскольку ионы,  движущиеся из разрядной области,  имеют большую скорость по сравнению с нейтральными атомами.  В [37] в условиях,  близких к условиям [27],  при использовании методов скоростной фоторегистрации наблюдали пульсации плазменного факела,  поэтому можно сделать предположение,  что в [27] пульсации тока мишени и давления газа обусловлены пульсациями плотности приповерхностной плазмы.  Более того,  можно предположить,  что механизм этих пульсаций обусловлен неустойчивостью горения разряда за счет упоминавшегося выше эффекта ионной откачки.  Однако непосредственное использование механизма ионной откачки для объяснения колебательной неустойчивости в [27] наталкивается на ряд трудностей.  Поэтому скорость иоиов больше скорости нейтралов,  причем в режиме ионной откачки поток ионов может на порядок превосходить поток подводимого в камеру плазмообразующего газа.  Колебательная же неустойчивость в [27] развивается несколько в других условиях.  Во-первых,  в [27] отсутствует вблизи поверхности металла сильное продольное магнитное поле,  поэтому ионы,  как и нейтральные частицы,  могут совершенно беспрепятственно уходить на стенки вакуумной камеры.