Синтез в герметичных реакторах обеспечивает получение наиболее чистых разлагающихся полупроводниковых соединений. Они позволяют перед началом ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов


Синтез в герметичных реакторах обеспечивает получение наиболее чистых разлагающихся полупроводниковых соединений. Они позволяют перед началом процесса провести вакуумную термообработку исходных материалов для очистки их от летучих оксидов, а затем создать в реакторе высокий вакуум, сохраняющийся в нем после запайки реактора.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Синтез в герметичных реакторах обеспечивает получение наиболее чистых разлагающихся полупроводниковых соединений.  Они позволяют перед началом процесса провести вакуумную термообработку исходных материалов для очистки их от летучих оксидов,  а затем создать в реакторе высокий вакуум,  сохраняющийся в нем после запайки реактора.