Синтез в герметичных реакторах обеспечивает получение наиболее чистых разлагающихся полупроводниковых соединений. Они позволяют перед началом ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Нашельский А.Я.
Технология полупроводниковых материалов
Синтез в герметичных реакторах обеспечивает получение наиболее чистых разлагающихся полупроводниковых соединений. Они позволяют перед началом процесса провести вакуумную термообработку исходных материалов для очистки их от летучих оксидов, а затем создать в реакторе высокий вакуум, сохраняющийся в нем после запайки реактора.