В технологическом процессе производства металлопленочных резисторов тонкие металлические проводящие пленки получают катодным, реактивным и ионно-плазменным ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Ермаков Е.С.
Наладка технологического оборудования производства радиодеталей
В технологическом процессе производства металлопленочных резисторов тонкие металлические проводящие пленки получают катодным, реактивным и ионно-плазменным распылением, термическим разложением и испарением, электрохимическим и химическим осаждением, а также вжиганием.