При ионной бомбардировке мишени наряду с процессами распыления поверхности, иопно-ионний эмис-X сии, образования радиационных дефектов ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Прохоров А.М.
Физическая энциклопедия Том 2
При ионной бомбардировке мишени наряду с процессами распыления поверхности, иопно-ионний эмис-X сии, образования радиационных дефектов и др. лронс-X ходит проникновение ионов в глубь мишени. Движущиеся частицы в результате многократных столкновений постепенно теряют энергию, рассеиваются и в конечном итоге либо отражаются назад, либо останавливаются, распределяясь но глубине.