Диэлектрические пленки применяются в интегральных микросхемах в качестве изоляционных слоев и защитных покрытий. При формировании ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Гранитов Г.И.
Физика полупроводников и полупроводниковые приборы
Диэлектрические пленки применяются в интегральных микросхемах в качестве изоляционных слоев и защитных покрытий. При формировании этих пленок используются моноокиси кремния и германия, а также трехсернистая сурьма.