Диэлектрические пленки применяются в интегральных микросхемах в качестве изоляционных слоев и защитных покрытий. При формировании ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Гранитов Г.И. Физика полупроводников и полупроводниковые приборы


Диэлектрические пленки применяются в интегральных микросхемах в качестве изоляционных слоев и защитных покрытий. При формировании этих пленок используются моноокиси кремния и германия, а также трехсернистая сурьма.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

 Диэлектрические пленки применяются в интегральных микросхемах в качестве изоляционных слоев и защитных покрытий.  При формировании этих пленок используются моноокиси кремния и германия,  а также трехсернистая сурьма.