Сверхтонкие пленки не являются сплошными, а состоят из островков вещества, разделенных областями, не покрытыми осаждаемым ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Гаркуша Ж.М.
Основы физики полупроводников
Сверхтонкие пленки не являются сплошными, а состоят из островков вещества, разделенных областями, не покрытыми осаждаемым материалом. Электропроводность в такой пленке появляется только тогда, когда островки соединятся между собой. При рассмотрении электропроводности металлов говорилось о том, что удельное сопротивление металлов зависит от длины свободного пробега электронов. В тонких пленках эта длина ограничена столкновениями электронов с поверхностью пленки. С увеличением толщины пленки длина свободного пробега возрастает и соответственно снижается сопротивление пленки.