Таким образом, первый метод дает хорошие результаты при изготовлении структур преобразователей с шириной электродов до ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Орлов В.С. Фильтры на поверхностных акустических волнах


Таким образом, первый метод дает хорошие результаты при изготовлении структур преобразователей с шириной электродов до 3 - 5 мкм, а второй незаменим при изготовлении структур с меньшей шириной электродов ( до 1 мкм) и в том случае, когда поверхность материала звукопровода чувствительна к действию травителей, например германата висмута.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Таким образом, первый метод дает хорошие результаты при изготовлении структур преобразователей с шириной электродов до 3 - 5 мкм, а второй незаменим при изготовлении структур с меньшей шириной электродов ( до 1 мкм) и в том случае, когда поверхность материала звукопровода чувствительна к действию травителей, например германата висмута.