На микроанодах поверхности кремниевой пластины протекает анодная реакция окисления кремния, сопровождающаяся комплексообразованием и переводом атомов ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Пичугин И.Г.
Технология полупроводниковых приборов
На микроанодах поверхности кремниевой пластины протекает анодная реакция окисления кремния, сопровождающаяся комплексообразованием и переводом атомов кремния в раствор в виде устойчивых комплексных анионов.
