Процесс нанесения пленок складывается из двух этапов: превращения вещества в газообразное состояние и конденсации. По ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Ефимов И.Е. Основы микроэлектроники


Процесс нанесения пленок складывается из двух этапов: превращения вещества в газообразное состояние и конденсации. По способу превращения вещества в газообразное состояние методы вакуумного нанесения подразделяются на термовакуумное испарение, катодное и ионно-плазменное распыление. Термовакуумное испарение осуществляется нагревом испаряемого вещества. При этом вещество плавится, а затем образуется пар. Катодное распыление заключается в использовании явления разрушения катода, который является испаряемым веществом, при бомбардировке его ионизированными атомами газа. Разновидностью катодного распыления является ионно-плазмен - юе.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

 Процесс нанесения пленок складывается из двух этапов:  превращения вещества в газообразное состояние и конденсации.  По способу превращения вещества в газообразное состояние методы вакуумного нанесения подразделяются на термовакуумное испарение,  катодное и ионно-плазменное распыление.  Термовакуумное испарение осуществляется нагревом испаряемого вещества.  При этом вещество плавится,  а затем образуется пар.  Катодное распыление заключается в использовании явления разрушения катода,  который является испаряемым веществом,   при бомбардировке его ионизированными атомами газа.  Разновидностью катодного распыления является ионно-плазмен - юе.