Процесс нанесения пленок складывается из двух этапов: превращения вещества в газообразное состояние и конденсации. По ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Ефимов И.Е.
Основы микроэлектроники
Процесс нанесения пленок складывается из двух этапов: превращения вещества в газообразное состояние и конденсации. По способу превращения вещества в газообразное состояние методы вакуумного нанесения подразделяются на термовакуумное испарение, катодное и ионно-плазменное распыление. Термовакуумное испарение осуществляется нагревом испаряемого вещества. При этом вещество плавится, а затем образуется пар. Катодное распыление заключается в использовании явления разрушения катода, который является испаряемым веществом, при бомбардировке его ионизированными атомами газа. Разновидностью катодного распыления является ионно-плазмен - юе.