МОС, который может включать предварительную адсорбцию МОС на поверхности, собственно реакцию на ней и последующую ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Разуваев Г.А. Металлоорганические соединения в электронике


МОС, который может включать предварительную адсорбцию МОС на поверхности, собственно реакцию на ней и последующую десорбцию продуктов распада; о) процессы образования структуры пленки, связанные с диффузией и поверхностной миграцией атомов, а также процессами агрегации и кристаллизации пленки.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

МОС,  который может включать предварительную адсорбцию МОС на поверхности,  собственно реакцию на ней и последующую десорбцию продуктов распада;  о) процессы образования структуры пленки,  связанные с диффузией и поверхностной миграцией атомов,  а также процессами агрегации и кристаллизации пленки.