МОС, который может включать предварительную адсорбцию МОС на поверхности, собственно реакцию на ней и последующую ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Разуваев Г.А.
Металлоорганические соединения в электронике
МОС, который может включать предварительную адсорбцию МОС на поверхности, собственно реакцию на ней и последующую десорбцию продуктов распада; о) процессы образования структуры пленки, связанные с диффузией и поверхностной миграцией атомов, а также процессами агрегации и кристаллизации пленки.