Выдержка из книги
Разуваев Г.А.
Металлоорганические соединения в электронике
Выведены уравнения для расчета скорости осаждения металла п содержания углерода в нем в зависимости от температуры разложения. Расчетные данные находятся в хорошем соответствии с экспериментальными резул ьтатами.
