В основе электронолитографии лежит взаимодействие электронного пучка с резистом, разрыв межатомных связей в материале резиста ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Парфенов О.Д.
Технология микросхем
В основе электронолитографии лежит взаимодействие электронного пучка с резистом, разрыв межатомных связей в материале резиста и перестройки его структуры, в результате чего способность резиста к растворению в определенных составах ( проявителях) резко изменяется: для негативных - уменьшается, для позитивных - возрастает.
