Основные зависимости скорости распыления от параметров высокочастотного разряда ( рис. 4) качественно не отличаются от ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Труды Н.И. Труды Ивановского химико-технологического института Вып 15


Основные зависимости скорости распыления от параметров высокочастотного разряда ( рис. 4) качественно не отличаются от наблюдаемых в тлеющем разряде постоянного тока. Однако абсолютные величины измеренных нами скоростей распыления в высокочастотном разряде оказались значительно более вы. Так как опыт не показал заметного различия величин ионных токов на распыляемый электрод в тлеющем и высокочастотном разрядах, причину различия скоростей распыления нужно искать в энергиях ионов. Следует отметить, что при сильном нагреве электродов происходит их термическое распыление. Однако расчет, произведенный с учетом измеренных нами температур электродов ( - 500 С в тлеющем разряде и до 1000 С в высокочастотном разряде), показал, что термическим распылением можно пренебречь даже для меди во всем интервале условий наших экспериментов.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Основные зависимости скорости распыления от параметров высокочастотного разряда ( рис. 4) качественно не отличаются от наблюдаемых в тлеющем разряде постоянного тока. Однако абсолютные величины измеренных нами скоростей распыления в высокочастотном разряде оказались значительно более вы. Так как опыт не показал заметного различия величин ионных токов на распыляемый электрод в тлеющем и высокочастотном разрядах, причину различия скоростей распыления нужно искать в энергиях ионов. Следует отметить, что при сильном нагреве электродов происходит их термическое распыление. Однако расчет, произведенный с учетом измеренных нами температур электродов ( - 500 С в тлеющем разряде и до 1000 С в высокочастотном разряде), показал, что термическим распылением можно пренебречь даже для меди во всем интервале условий наших экспериментов.