Технология процесса вполне аналогична описанной технологии выращивания эпитаксиальных пленок кремния как с точки зрения оборудования, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Медведев С.А.
Введение в технологию полупроводниковых материалов
Технология процесса вполне аналогична описанной технологии выращивания эпитаксиальных пленок кремния как с точки зрения оборудования, так и самой сущности процесса.
