Выдержка из книги
Миловзоров В.П.
Электромагнитные устройства автоматики
Изготовление магнитно-изотропных пленок не является простой задачей в связи с тем, что существует ряд трудно контролируемых факторов, приводящих к возникновению анизотропии в плоскости пленки. Такими факторами в процессе вакуумного напыления могут являться упругие напряжения в пленке, возникающие из-за различия коэффициентов теплового расширения подложки и пленки, которое приаодит к возникновению анизотропии магнитострикции; наклонное падение атомов распыляемого пермаллоя на подложку, приводящее к эффекту сачозатенения; присутствие в рабочем объеме вакуумной камеры паразитных магнитных полей, способствующих возникновению наведенной анизотропии ( ср. Радикальным способом борьбы с этими факторами явился метод напыления на вращающуюся подложку, предварительно нагретую для устранения магнитострикционной анизотропии. Кроме того, при таком напылении устраняется неравномерность распределения потоков атомов пермаллоя, что гарантирует идентичность свойств всех аппликаций, получаемых в одном технологическом цикле.
