Недостатком электролитического окисления является загрязнение окионой пленки гидроокисью, а также плохая технологическая совместимость с другими ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Парфенов О.Д. Технология микросхем


Недостатком электролитического окисления является загрязнение окионой пленки гидроокисью, а также плохая технологическая совместимость с другими элементами интегральной схемы. Непосредственное испарение диэлектрика в вакууме приводит, как известно, к образованию пористой пленки.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Недостатком электролитического окисления является загрязнение окионой пленки гидроокисью,  а также плохая технологическая совместимость с другими элементами интегральной схемы.  Непосредственное испарение диэлектрика в вакууме приводит,  как известно,  к образованию пористой пленки.