Недостатком электролитического окисления является загрязнение окионой пленки гидроокисью, а также плохая технологическая совместимость с другими ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Парфенов О.Д.
Технология микросхем
Недостатком электролитического окисления является загрязнение окионой пленки гидроокисью, а также плохая технологическая совместимость с другими элементами интегральной схемы. Непосредственное испарение диэлектрика в вакууме приводит, как известно, к образованию пористой пленки.