Выдержка из книги
Ефимов И.Е.
Основы микроэлектроники
Если диэлектрик массивный, то весь его остальной объем действует по-прежнему как изолятор, и поэтому в системе металл-диэлектрик-металл ток ничтожно мал. Если же между двумя металлическими электродами поместить тонкую диэлектрическую пленку ( порядка 1 - 10 мкм), то эмитируемые из металла электроны заполнят всю толщину пленки и напряжение, приложенное к такой системе, создаст ток через диэлектрик. Появляется возможность создавать управляемые эмиссионные токи, аналогичные токам в вакууме. При этом тонкие пленки из полупроводниковых материалов, таких как кремний, германий, арсенид галлия и др., по своим свойствам подобны диэлектрикам.
