Выдержка из книги
Разуваев Г.А.
Металлоорганические соединения в электронике
На примере пленки, содержащей окисел диспрозия, видно, что лишь при температуре деструкции - 1150 С наблюдается заметное увеличение плотности поверхностных состояний. На величину плотности поверхностных состояний не влияет и увеличение времени деструкции от 1 до 60 мин. Величина относительной диэлектрической проницаемости пленок с содержанием окисла РЗЭ 25 - 49 % составляет 4 5 - 9 9 и не меняется с повышением температуры деструкции от 790 до 940 С.
