В общем трехмерном случае выражение для фактора Дебая - Валлера (12.4) остается справедливым, если ( Д2) рассматривать как среднеквадратичное смещение атома в направлении вектора дифракции. В общем случае эта величина неизотропна и будет изменяться в зависимости от сорта атомов и их окружения. В современном структурном анализе кристаллов все три параметра, определяющие эллипсоид колебаний1, обычно уточняют для каждого неэквивалентного атома.
