Поскольку слой SiO2 прозрачен в видимом диапазоне длин волн, то следующие импульсы поглощаются поверхностным слоем ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Крылов К.И. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении


Поскольку слой SiO2 прозрачен в видимом диапазоне длин волн, то следующие импульсы поглощаются поверхностным слоем Si, в результате чего происходит его испарение с последующим повышением давления паров. Это приводит к микровзрыву с разрушением слоя SiO2 и выбросом расплавленного Si, который оседает на А1 с образованием хорошего омического контакта. Количество лазерных импульсов определяет качество соединения слоя алюминия микронной толщины и сильно легированного слоя - Si. Если количество импульсов меньше четырех, то нужного соединения не получится, а если оно больше этой величины, лазерное излучение проникает в p - Si слой, производя его разрушение.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Поскольку слой SiO2 прозрачен в видимом диапазоне длин волн, то следующие импульсы поглощаются поверхностным слоем Si, в результате чего происходит его испарение с последующим повышением давления паров. Это приводит к микровзрыву с разрушением слоя SiO2 и выбросом расплавленного Si, который оседает на А1 с образованием хорошего омического контакта. Количество лазерных импульсов определяет качество соединения слоя алюминия микронной толщины и сильно легированного слоя - Si. Если количество импульсов меньше четырех, то нужного соединения не получится, а если оно больше этой величины, лазерное излучение проникает в p - Si слой, производя его разрушение.