Исходя из физических аспектов образования вторичных электронов и возможностей регистрируемой аппаратуры, предельное вертикальное разрешение составляет ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Белый А.В.
Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев
Исходя из физических аспектов образования вторичных электронов и возможностей регистрируемой аппаратуры, предельное вертикальное разрешение составляет 10 нм.