Выдержка из книги
Аваев Н.А.
Основы микроэлектроники
На рис. 2.8 показаны распределения концентраций примесей бора Na ( x) для одной и той же дозы легирования л-а, но разных энергий ионов. Длина пробега ионов является случайной величиной, распределенной по нормальному закону, и характеризуется средним значением / и среднеквадратическим отклонением ст. Обе величины 7 и а увеличиваются с ростом энергии ионов.
