Изучение структуры кремниевых слоев свидетельствует об очень низком их совершенстве. Кроме многочисленных микро-дефектов в самом ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Палатник Л.С. Эпитаксиальные пленки


Изучение структуры кремниевых слоев свидетельствует об очень низком их совершенстве. Кроме многочисленных микро-дефектов в самом осадке, под пленкой был обнаружен кавита-ционный слой, содержащий крупные полости. Его толщина растет с увеличением длительности процесса. Этот слой образуется вследствие диффузии германия в эпитаксиальную пленку кремния. После 64-часового осаждения германиевую подложку толщиной 1 мм различить уже не удается. Видно, что градиент коцентра-ции германия увеличивается с понижением температуры роста. Пленки монокристальны по всей толщине, причем измерение периодов решетки образующихся твердых растворов согласуются с результатами микроанализа.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Изучение структуры кремниевых слоев свидетельствует об очень низком их совершенстве. Кроме многочисленных микро-дефектов в самом осадке, под пленкой был обнаружен кавита-ционный слой, содержащий крупные полости. Его толщина растет с увеличением длительности процесса. Этот слой образуется вследствие диффузии германия в эпитаксиальную пленку кремния. После 64-часового осаждения германиевую подложку толщиной 1 мм различить уже не удается. Видно, что градиент коцентра-ции германия увеличивается с понижением температуры роста. Пленки монокристальны по всей толщине, причем измерение периодов решетки образующихся твердых растворов согласуются с результатами микроанализа.