Зависимость толщины оксида кремния от времени окисления во влажном кислороде при различном содержании водяного пара. - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Пичугин И.Г. Технология полупроводниковых приборов


Зависимость толщины оксида кремния от времени окисления во влажном кислороде при различном содержании водяного пара.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Зависимость толщины оксида кремния от времени окисления во влажном кислороде при различном содержании водяного пара.