Из-за ограниченного объема данной главы не представляется возможным рассмотреть все тонкопленочные диэлектрики, полученные различными способами, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Майссела Л.N.
Технология тонких пленок Часть 2
Из-за ограниченного объема данной главы не представляется возможным рассмотреть все тонкопленочные диэлектрики, полученные различными способами, однако описание различных методов детально анализируется в других главах книги. Ниже вкратце описываются различные методы получения тонких диэлектрических пленок, приводятся их основные преимущества и недостатки в случае идеальной диэлектрической пленки.
