Из-за ограниченного объема данной главы не представляется возможным рассмотреть все тонкопленочные диэлектрики, полученные различными способами, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 2


Из-за ограниченного объема данной главы не представляется возможным рассмотреть все тонкопленочные диэлектрики, полученные различными способами, однако описание различных методов детально анализируется в других главах книги. Ниже вкратце описываются различные методы получения тонких диэлектрических пленок, приводятся их основные преимущества и недостатки в случае идеальной диэлектрической пленки.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Из-за ограниченного объема данной главы не представляется возможным рассмотреть все тонкопленочные диэлектрики,  полученные различными способами,  однако описание различных методов детально анализируется в других главах книги.  Ниже вкратце описываются различные методы получения тонких диэлектрических пленок,  приводятся их основные преимущества и недостатки в случае идеальной диэлектрической пленки.