Низкая температура кипения позволяет получать моносилан с таким малым содержанием примесей, что получаемый из него ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Медведев С.А.
Введение в технологию полупроводниковых материалов
Низкая температура кипения позволяет получать моносилан с таким малым содержанием примесей, что получаемый из него кремний имеет, без специальных дополнительных очисток методами зонной плавки, удельное сопротивление порядка 1000 - 1500 ом-см. Благодаря высокой чистоте моносилана делаются попытки использовать его для выращивания эпитаксиальных пленок кремния с высокими удельными сопротивлениями.
